판상 알루미나를 사파이어 기판 연마 패드의 연마 충전재로 사용할 수 있을까요?
답변: 예. 판상 알루미나 (판형 α-Al₂O₃)는 사파이어 기판용 고정 연마 패드의 연마 충전재로 적합하며, 주로 거친 연마 및 중간 연마 단계에 사용됩니다. 사파이어는 단결정 α-알루미나이므로, 판상 알루미나는 동일한 재질 체계를 가지며 이물질 혼입을 방지합니다.
장점
- 슬라이딩 연마 메커니즘은 평평한 육각형 판상 입자가 압력 하에서 사파이어 표면에 평행하게 정렬되는 경향이 있습니다. 이는 날카로운 모서리로 긁는 방식이 아닌 표면 접촉 슬라이딩 미세 절삭을 수행합니다. 용융 백색 알루미나와 비교했을 때, 깊은 긁힘과 표면 아래 손상을 크게 줄여 LED 에피택시 수율을 향상시킵니다.
- 모스 경도 9의 동일한 경도 를 가진 사파이어입니다. 슬라이싱 및 래핑 후 표면 아래 손상을 효율적으로 제거합니다. 실리카만으로는 손상 제거율이 너무 낮습니다.
- 고순도 요구 사항: LED 성능에 영향을 미치는 사파이어 표면의 금속 이온 오염을 방지하기 위해서는 고순도 α상 판상 알루미나(Al₂O₃ ≥99.9%, 낮은 Fe, Na, Si 함량)가 필요합니다.
